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隨著半導(dǎo)體進入到快速開展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐步的進步功能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設(shè)備，首要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測驗丈量等，可是它到底有哪一些首要的優(yōu)勢。

高直線度和平面度

高定位精度和重復(fù)定位

運動速度平穩(wěn)

納米級微動步距

氣浮運動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了較優(yōu)氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間有著超卓的功能精度，實現(xiàn)較大速度2米/秒，可以擁有4G的加速度，并且承載的能力也非常的超卓，所以在現(xiàn)在的市場上已經(jīng)逐步得到我們的認可，只是當我們在挑選設(shè)備時，或許也會存在許多的疑問，比如說要挑選哪種材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌。

其實材質(zhì)的挑選是跟用戶的使用有著緊密的聯(lián)系，單從性價比角度了解，碳化硅陶瓷材質(zhì)的氣浮運動臺精度高，當然本錢也昂貴，鋁合金與大理石材質(zhì)的相同功能比較，鋁合金的加工難度大些，本錢較高，大理石的本錢較便宜些。

利用的直線電機驅(qū)動，挑選無鐵芯設(shè)計，特點是無齒槽效應(yīng)，高動態(tài)功能及電流噪音小等，所以在運動的過程中可以實現(xiàn)超平穩(wěn)的效果，別的配置光柵尺閉環(huán)反饋的控制系統(tǒng)，取得高定位精度和重復(fù)定位精度，控制器對光柵尺較大65536倍細分，取得納米級微動步距。

所以從各個方向的優(yōu)勢來看，氣浮運動臺已經(jīng)成為當時從事高精密使用職業(yè)的挑選，可以進步整個系統(tǒng)的精度功能。